（1）低温等离子体技术适用于低浓度VOCs废气（一般宜低于300mg/m3）治理，且废气浓度应远低于爆炸下限，确保不存在爆炸危险。
（2）对于含油雾或漆雾等颗粒物的废气，应配置高效过滤等适宜的预处理工艺，确保低温等离子体处理设备的安全性。
（3）启动低温等离子体单元之前，需先启动风机吹扫处理系统，以防止放电火花引燃积聚的高浓度有机物。
（4）对电极和器壁上的沉积物应及时进行清理维护。
（5）从低温等离子产品生产和使用全过程强化产品设计、制造、运行维护各个环节的监测、预报警、应急处置等安全措施。
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