汽轮机超速保护有三种，DEH电超速，ETS电超速，机械超速。其中DEH电超速和ETS电超速都有各自的测量保护回路，在汽机前箱内设置有六个测速探头，其中三个经3取2逻辑后送往DEH，另外三个经3取2逻辑后送往ETS。当汽机转速达到110%额定转速时，两者的测速探头将转速信号送至各自的控制系统中，其中，DEH系统确定汽机110%超速后，便会发出DEH故障信号，发往ETS系统，ETS发跳机信号，而ETS系统确定汽机110%超速后，直接发跳机信号，快速卸去AST油压，快关主汽门，同时OPC油压也会卸掉，快关调门。两者有一者达到保护动作值都会使汽机跳机，增加了可靠性。此外，当汽机转速达到109%--111%是，机械超速设置的飞锤会因离心力而飞出，击打超速滑阀的杠杆机构，杠杆带动滑阀动作，快速下移，通过机械超速系统打开隔膜阀，将机械安全油（AST油）卸掉，主汽门，调门也会快关。另外为了做汽机超速试验时，为了校验机械超速整定值，应提高电超速的设定值，提高到113%，当汽机超速达到109%--111%时，机械超速应动作，隔膜阀打开，卸去安全油，一旦机械超速保护未动作，那么汽机转速达到113%时，作为后备保护的电超速便会动作，或者采用手动打闸的办法，卸去安全油。
